Phát triển nhà máy oxy VPSA

Năm 1891, công ty Linde của Đức bắt đầu nghiên cứu hóa lỏng không khí trong phòng thí nghiệm của công ty sản xuất máy làm lạnh.
Năm 1895, Giáo sư Linde chế tạo thiết bị không khí lỏng đầu tiên sử dụng hiệu ứng Joule-Thomson.
Năm 1901, Linde thành lập nhà máy sản xuất thiết bị đông lạnh ở Munich.
Năm 1902, thiết bị tách khí cho tháp chỉnh lưu một tầng đầu tiên do Linde thiết kế đã được hoàn thành. French Kraut đã phát minh ra máy giãn nở và thành lập công ty Air Liquefaction ở Paris.
Năm 1903, Linde chế tạo máy tạo oxy công nghiệp đầu tiên có công suất 10m3/h, sử dụng quy trình tiết lưu áp suất cao.
Năm 1910, Pháp chế tạo máy tạo oxy 50m3/h đầu tiên sử dụng quy trình áp suất trung bình với máy giãn nở piston.
Năm 1920, Hyland, Đức, đã phát minh ra quy trình áp suất cao để sản xuất oxy lỏng bằng máy giãn nở áp suất cao.
Năm 1924, Frankel đề xuất rằng trong các thiết bị tách khí lớn, nên sử dụng bộ làm mát chứa đầy kim loại thay vì bộ trao đổi nhiệt thông thường.
Năm 1926, Frankel đề xuất dạng ắc quy lạnh phổ biến.
Năm 1930, Linde chế tạo thiết bị Linde Frankel quy mô công nghiệp đầu tiên với công suất 255m3/h và độ tinh khiết 99,5% O2.
Năm 1932, bộ giãn nở tuabin được sử dụng lần đầu tiên trên thiết bị Linde-Frankel. Oxy lần đầu tiên được sử dụng trong luyện kim và tổng hợp amoniac ở Đức.
Năm 1939, Liên Xô đã chế tạo được máy giãn nở tuabin hiệu suất cao và bắt đầu nghiên cứu toàn bộ thiết bị tách khí áp suất thấp.
Năm 1947, Linde tập trung phát triển thiết bị sản xuất oxy công nghiệp áp suất tối đa. Liên Xô bắt đầu thiết kế các nhà máy oxy công nghiệp lớn với đầy đủ quy trình áp suất thấp.
Năm 1949, Hoa Kỳ lần đầu tiên sử dụng máy tạo oxy 29000m3/h sử dụng bộ trao đổi nhiệt dạng tấm.
Năm 1952, Áo lần đầu tiên sử dụng máy chuyển oxy tinh khiết thổi từ trên xuống để sản xuất thép, khiến lượng oxy luyện kim tăng mạnh.
Năm 1955, Hoa Kỳ phát triển mạnh mẽ tên lửa và tiêu thụ một lượng lớn oxy lỏng làm chất gia tốc.
Năm 1957, máy tạo oxy 120 tấn/ngày vận hành tự động đầu tiên được chế tạo.
Năm 1960, Nhật Bản đã hoàn thành thiết bị điện áp thấp hoàn toàn quy mô lớn có độ tinh khiết cao gấp đôi 10000m3/h99,6% O2 và 10000m3/h99,99% N2.
Năm 1972, Pháp chế tạo thiết bị tách khí oxy tinh khiết có công suất lớn nhất thế giới: 1700 tấn O2/ngày và 1500 tấn/ngày N2.
Các đơn vị lớn hơn vẫn đang được nghiên cứu.