Máy phát oxy PSA cho chất bán dẫn

Trong bối cảnh các yêu cầu cực kỳ cao của sản xuất chất bán dẫn đối với độ tinh khiết và độ ổn định của khí, bộ tạo oxy PSA sử dụng công nghệ hấp phụ áp lực (PSA), sử dụng không khí làm nguyên liệu thô và tận dụng sự khác biệt về khả năng hấp phụ khí của chất hấp phụ dưới các áp suất khác nhau để tách biệt hiệu quả. Máy phát oxy có thể tạo ra oxy với độ tinh khiết chính xác và dòng chảy ổn định, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt đối với oxy trong tất cả các khía cạnh của sản xuất chất bán dẫn từ xử lý wafer đến bao bì chip. Thiết bị có mức độ tự động hóa cao, có thể hoạt động ổn định trong một thời gian dài, giảm chi phí vận hành và bảo trì và có thể điều chỉnh linh hoạt các thông số khác nhau để tạo ra giải pháp cung cấp oxy đáng tin cậy, hiệu quả và tiết kiệm cho các nhà sản xuất bán dẫn, giúp ngành công nghiệp bán dẫn cải thiện hiệu quả sản xuất và chất lượng sản phẩm.

Gửi yêu cầu

Mô tả

Thông số kỹ thuật

Tại sao ngành công nghiệp bán dẫn cần máy phát oxy PSA?

Nguồn cung cấp khí có độ tinh khiết cao:Sản xuất chất bán dẫn có các yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết của khí, và oxy có độ bền cao là không thể thiếu đối với in thạch bản, làm sạch và các liên kết khác. Với sự trợ giúp của công nghệ hấp phụ áp lực, bộ tạo oxy PSA tạo ra oxy với độ tinh khiết 95%± 3%, đáp ứng các yêu cầu của sự hình thành lớp oxit và làm sạch wafer, và tránh nguy cơ ô nhiễm tạp chất của việc cung cấp oxy xi lanh khí truyền thống.
Đảm bảo sự ổn định của quá trình:Các dây chuyền sản xuất bán dẫn đòi hỏi cung cấp khí liên tục và ổn định. Trình tạo oxy PSA sử dụng các tháp hấp phụ kép để hoạt động xen kẽ và thông qua điều khiển thông minh PLC, nó có thể đạt được 24- giờ không bị gián đoạn, tránh các gián đoạn sản xuất do thay thế chai thủ công và thích ứng với các quá trình nhạy cảm với áp suất không khí như lắng đọng màng mỏng và khắc.
Giảm chi phí và tối ưu hóa không gian:So với các bể chứa oxy lỏng và xi lanh khí áp suất cao, máy phát oxy PSA tạo ra oxy tại chỗ, giảm đáng kể chi phí vận chuyển và lưu trữ. Nó có một dấu chân nhỏ và hỗ trợ mở rộng mô -đun, đáp ứng nhu cầu tối đa hóa việc sử dụng không gian trong các hội thảo sạch của các nhà máy bán dẫn. Chi phí sử dụng dài hạn thấp hơn khoảng 20% so với phương pháp truyền thống.
Thích ứng với các quy trình đặc biệt:Trong các quy trình nâng cao, một số quy trình đặc biệt yêu cầu kiểm soát chính xác nồng độ oxy. Bộ tạo oxy PSA có thể điều chỉnh linh hoạt độ tinh khiết sản lượng oxy (95%-99. 9%) bằng cách điều chỉnh áp suất hấp phụ và tỷ lệ sàng phân tử để đáp ứng các yêu cầu quy trình đặc biệt của sản xuất bộ nhớ flash 3D NAND.
Thân thiện với môi trường và dễ bảo trì:Công nghệ PSA không yêu cầu thuốc thử hóa học và quá trình sản xuất oxy không phát ra các chất có hại, đáp ứng các tiêu chuẩn bảo vệ môi trường của ngành công nghiệp bán dẫn. Thiết bị sử dụng thép không gỉ cấp thực phẩm và sàng phân tử tự làm sạch, với chu kỳ bảo trì lên đến 3-5 năm, và phù hợp cho môi trường sản xuất wafer độ sạch cao.

Tư vấn miễn phí

Why Does The Semiconductor Industry Need PSA Oxygen Generators?

loại	Chi tiết tham số
Độ tinh khiết oxy	93% -99. 5% (Hệ thống lọc ULPA có thể được tùy chỉnh, nội dung tạp chất nhỏ hơn hoặc bằng 1ppb)
Áp suất đầu ra	0. 5-1. 5MPa (có thể điều chỉnh, thích nghi với tiêu chuẩn nạp không khí của thiết bị bán dẫn)
Phạm vi dòng chảy	10-5000 nm³/h (hỗ trợ mở rộng song song nhiều đơn vị)
Điểm sương	Nhỏ hơn hoặc bằng -70 độ (để ngăn hơi nước làm ô nhiễm môi trường quá trình)
Hiệu quả năng lượng	Nhỏ hơn hoặc bằng 0. 38kWh/nm³ (ổ tần số biến hiệu quả cao, tiết kiệm năng lượng hơn 30%)
Tiếng ồn	Ít hơn hoặc bằng 65dB (cấu trúc rung thấp + vỏ cách âm, theo tiêu chuẩn phòng sạch lớp 1000)

Ưu điểm cốt lõi của máy phát oxy PSA

99% PSA Oxygen Generator For Gold Mining

Đảm bảo độ tinh khiết cực cao
Đơn vị phân tử hai lớp và đơn vị oxy hóa xúc tác được sử dụng để loại bỏ sâu các tạp chất như hydrocarbon và CO₂, và độ tinh khiết oxy đạt hơn 99,5%, đáp ứng tiêu chuẩn bán F20. Tích hợp trình phân tích trực tuyến thời gian thực, đồng bộ hóa dữ liệu với hệ thống SCADA của nhà máy để đảm bảo sự ổn định của quá trình.

Kiểm soát thông minh và thiết kế dự phòng
Hệ thống kiểm soát PLC+HMI tích hợp, hỗ trợ theo dõi từ xa, tự chẩn đoán lỗi và chuyển đổi khẩn cấp (hấp phụ dự phòng hai mặt tháp). Công nghệ bù áp lực tự động để đối phó với nhu cầu lưu lượng cao tức thời của thiết bị bán dẫn.

Giải pháp tiết kiệm năng lượng carbon thấp
VPSA (Hấp phụ áp suất chân không) Công nghệ hiệp đồng làm giảm mức tiêu thụ năng lượng, tiết kiệm 15% -20% năng lượng so với mô -đun thu hồi nhiệt chất thải PSA.Optional truyền thống để giảm tải nhiệt của hội thảo.

Khả năng tương thích phòng sạch
Tất cả các kênh dòng thép không gỉ + lớp phủ nano để tránh ô nhiễm ion kim loại; Thiết kế niêm phong rò rỉ không, đã vượt qua chứng nhận ISO 8573-1 0.

Các loại cây oxy PSA

Thiết bị mô -đun

Thiết bị tháp đôi

Thiết bị container

				Lựa chọn máy phát oxy PSA NTK95
KHÔNG.	Mô hình	Dung tích (NM3/giờ)	Sự thuần khiết	Tiêu thụ năng lượng của Oxy 1NM3 được sản xuất (kw/h)	Số chai bay trong 12 giờ (PC)	Nhà điều hành cần thiết
1	NTK 95-5 p	5	95%+-1%	3.54	10	2
2	NTK 95-10 p	10	95%+-1%	2.52	20	2
3	NTK 95-15 p	15	95%+-1%	2.31	30	2
4	NTK 95-20 p	20	95%+-1%	2.13	40	2
5	NTK 95-25 p	25	95%+-1%	2.01	50	2
6	NTK 95-30 p	30	95%+-1%	2.09	60	2
7	NTK 95-40 p	40	95%+-1%	1.81	80	2
8	NTK 95-50 p	50	95%+-1%	1.94	100	2
9	NTK 95-60 p	60	95%+-1%	1.62	120	2
10	NTK 95-80 p	80	95%+-1%	1.92	160	2
11	NTK 95-100 p	100	95%+-1%	1.83	200	2

Câu hỏi thường gặp

1. Độ tinh khiết của oxy cao đến mức nào, và nó có đáp ứng các yêu cầu của sản xuất chất bán dẫn không?
Máy phát oxy PSA của chúng tôi cho chất bán dẫn có thể thường xuyên sản xuất oxy với độ tinh khiết 95%± 3%. Đối với một số quá trình yêu cầu độ tinh khiết oxy cực kỳ cao, bằng cách điều chỉnh các tham số thiết bị, độ tinh khiết sản lượng oxy có thể được kiểm soát linh hoạt trong phạm vi 95% - 99.

2. Thiết bị ổn định như thế nào và nó có thể đảm bảo hoạt động liên tục của dây chuyền sản xuất chất bán dẫn?
Thiết bị áp dụng một tháp hấp phụ kép xen kẽ chế độ làm việc, kết hợp với hệ thống điều khiển thông minh PLC, để đạt được 24- giờ không bị gián đoạn và cung cấp oxy ổn định. Chế độ hoạt động tự động này tránh các gián đoạn cung cấp khí gây ra bởi sự thay thế chai thủ công, cung cấp nguồn cung cấp khí đáng tin cậy và ổn định cho các quy trình như lắng đọng màng mỏng và khắc rất nhạy cảm với áp suất không khí và làm giảm hiệu quả nguy cơ gián đoạn sản xuất do các vấn đề cung cấp khí.

3. So với các phương pháp cung cấp oxy truyền thống, chi phí sử dụng là bao nhiêu?
So với các bể chứa oxy lỏng hoặc xi lanh khí áp suất cao, máy tạo oxy PSA của chúng tôi áp dụng chế độ sản xuất oxy tại chỗ, giúp tiết kiệm đáng kể chi phí vận chuyển oxy và lưu trữ. Các thiết bị chiếm một khu vực nhỏ và có thể được mở rộng bằng mô -đun, giảm chi phí cho thuê trang web. Về lâu dài, chi phí thấp hơn khoảng 20% so với phương pháp cung cấp oxy truyền thống, giúp tiết kiệm đáng kể chi phí vận hành.

4 .. Việc bảo trì thiết bị có phức tạp không? Chu kỳ bảo trì là bao lâu?
Thiết bị này rất dễ bảo trì, sử dụng thép không gỉ cấp thực phẩm và sàng phân tử tự làm sạch, giúp giảm đáng kể khối lượng công việc bảo trì. Trong các trường hợp bình thường, chu kỳ bảo trì dài như 3-5 năm và chúng tôi được trang bị một nhóm sau bán hàng chuyên nghiệp để cung cấp hỗ trợ kỹ thuật bất cứ lúc nào để giúp bạn giải quyết các vấn đề trong quá trình vận hành thiết bị.

Hành động ngay bây giờ để đảm bảo chuỗi cung ứng oxy của bạn

Các giải pháp tùy chỉnh:
Hãy cho chúng tôi biết năng lực giường của bạn và nhu cầu cao nhất cho một đề xuất phù hợp.
✅ Giao hàng nhanh:
Các mô-đun được thiết kế sẵn được vận chuyển trong 8-12 tuần.
Tùy chọn tài chính:
Các kế hoạch cho thuê để sở hữu có sẵn.

Số điện thoại

+86 15888864725

Số whatsapp

+86 15888864725

Thư điện tử

sales@newtek-group.com

NEWTEK